안녕하세요 오늘은 특허문헌에서 배경기술 쓰는 방법을 소개해드릴까 합니다.

바로 들어가겠습니다.

발명이 속하는 기술 및 그 분야의 종래기술

본 발명은 액정표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 포토레지스트를 [0014] 소정의 형상으로 패터닝할 경우, 모서리부에서 발생하는 회절을 보상하여 정확한 형상을 전사할 수 있는 마스크와 이를 이용한 액정표시 소자에 관한 것이다.
액정표시장치는 경박단소하고 휴대성이 우수한 특징으로 인해, 오늘날 널리 사용되며 활발한 연구가 진행되고 있다.
상기 액정표시장치는 통상 다수의 박막형성공정을 포함하며, 상기 박막형성공정은 통상 마스크를 사용한 포토 공정에 의해 이루어진다.
포토공정은 감광성의 수지막을 도포하고 소정의 패턴이 형성된 마스크를 상기 감광성 수지상에 얼라인한 후, 노광공정과 현상공정을 통해 이루어진다.
이하, 도 1 및 2를 참조하여 일반적인 액정표시소자의 제조공정을 살펴보고 그 제조공정 중 포토공정이 필요한 경우를 살펴본다.
도 1은 통상의 액정표시소자의 단위화소를 도시한 것이며, 도 2는 도 1의 절단선(I-I)를 통해 본 액정표시소자의 절단면도이다.
액정표시소자는 기판상에 서로 평행한 다수의 게이트라인(101)과 상기 게이트라인(101)과 서로 수직한 다수의 데이터라인(102)에 의해 단위화소들이 정의된다.
또한 상기 단위화소의 일 측에는 스위칭소자인 박막트랜지스터가 형성되어 있어, 박막트랜지스터를 통해 화소전극(108)에 화상 데이터 신호가 제어된다.

상기 박막트랜지스터는 상기 게이트라인(101)으로 부터 분기되는 게이트전극(103)형성단계, 상기 게이트전극(103)상에 게이트절연층(110)을 형성하는 단계, 상기 게이트절연층(110)상에 액티브층(104)을 형성하는 단계, 상기 액티브층(104)상에 층간 절연층(111)을 형성하는 단계, 상기 층간 절연층(111)상에 소오스전극(105) 및 드레인 전극(106)을 형성하는 단계, 상기 소오스 및 드레인 전극상에 보호층(112)을 형성하는 단계, 상기 보호층 상에 다수의 컨택홀들(107a,107b)을 형성하는 단계, 상기 보호층상에 상기 드레인전극과 연결되는 화소전극(108)을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.

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